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FFKM 9671 (플라즈마환경)
FFKM 9671 제품은 넓은 범위의 화학적 저항성이 우수하고 특히 반도체의 극심한 프라즈마 공정에 적합하도록 설계되었습니다. 과불소탄성체에 PTFE 나노입자를 중합하는 특별한 기술을 적용하여 산소 및 불소 프라즈마 공정에서 월등한 프라즈마 저항성을 개선시켜 분진을 최소화하고, 낮은 아웃 가스의 특성으로 HDPCVD, PECVD 등의 공정과 같은 정적, 동적 Dry공정에 적합한 제품입니다. 안정적 사용온도는 260°C까지 추천합니다.
기능 및 이점
초 고순도 및 낮은 금속 이온 함유 / 표면의 낮은 부식으로 오염의 최소화 / 우수한 기계적 물성 / 낮은 아웃 가스
적용분야
Bonded Slit valve seals / Bonded Gate valve seals / Chamber lip seals / Gas inlet seals / Isolation valve seals
